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高纯度硅的制造方法技术
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文档序号:1407865
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本发明提供一种高纯度硅的制造方法。高纯度的硅的制造方法是将下式(1)所示的卤化硅用铝还原制造硅的方法,作为还原剂使用的铝的纯度为99.9重量%以上。SiH↓[n]X↓[4-n](1)(式中,n是0~3的整数,X是选自F、Cl、Br、I的1种...
该专利属于住友化学株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过住友化学株式会社授权不得商用。
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