下载光模块及其制造方法的技术资料

文档序号:14067132

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本发明公开了一种光模块及其制造方法,属于光模块领域。光模块包括:衬底基板,以及设置在衬底基板上的光波导层、第一光栅、第二光栅和有源层,其中,有源层用于发出沿平行于有源层的长度方向传播的激光,第一光栅用于将激光的传播方向改变为垂直于第一光栅且...
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