下载一种直角屋脊棱镜脊的宽度测量装置的技术资料

文档序号:14065953

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本专利公开了一种直角屋脊棱镜脊的宽度测量的装置,测量装置采用光学差分的测量方法,由激光器和平行光管产生近似于远距离的平行光,平行光经过汇聚光学系统后形成的圆形光斑照射在直角屋脊棱镜脊上,经过直角屋脊棱镜的两个直角面的反射后产生的两束光分别经...
该专利属于中国科学院上海技术物理研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院上海技术物理研究所授权不得商用。

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