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本发明提供了一种声表面波磁传感器。所述声表面波磁传感器包括压电薄膜、分别设于所述压电薄膜两侧的种子层和叉指换能器、以及设于所述种子层背离所述压电薄膜的表面的衬底基片,所述叉指换能器包括叉指电极及位于所述叉指电极两端的反射栅,所述叉指电极为磁...该专利属于瑞声声学科技(常州)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过瑞声声学科技(常州)有限公司授权不得商用。
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本发明提供了一种声表面波磁传感器。所述声表面波磁传感器包括压电薄膜、分别设于所述压电薄膜两侧的种子层和叉指换能器、以及设于所述种子层背离所述压电薄膜的表面的衬底基片,所述叉指换能器包括叉指电极及位于所述叉指电极两端的反射栅,所述叉指电极为磁...