下载声表面波磁传感器及其制备方法的技术资料

文档序号:14063351

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本发明提供了一种声表面波磁传感器。所述声表面波磁传感器包括压电薄膜、分别设于所述压电薄膜两侧的种子层和叉指换能器、以及设于所述种子层背离所述压电薄膜的表面的衬底基片,所述叉指换能器包括叉指电极及位于所述叉指电极两端的反射栅,所述叉指电极为磁...
该专利属于瑞声声学科技(常州)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过瑞声声学科技(常州)有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。