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一种多晶硅生产中的还原炉进料方法技术
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文档序号:14062200
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本发明涉及多晶硅生产中的还原炉进料方法,分为如下三个阶段:初始进料阶段:该阶段的进料时间为从第0小时到第20小时,进料量为从0kg到800kg,且该阶段的整个进料过程中使得单位时间内进料量随着时间的增加成正比例地增加;平稳进料阶段:该阶段的...
该专利属于周正平;李金忠所有,仅供学习研究参考,未经过周正平;李金忠授权不得商用。
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