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一种多晶硅生产中的还原系统尾气回收方法技术方案
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文档序号:14062198
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本发明涉及多晶硅生产中的还原系统尾气回收方法,包括以下步骤:将还原系统尾气直接送入冷氢化反应系统中,并往冷氢化反应系统中注入氢气,注入氢气的体积占冷氢化反应系统中气体体积总量的15-21%;通过冷氢化反应系统对还原系统尾气和氢气进行加热,加...
该专利属于周正平;李金忠所有,仅供学习研究参考,未经过周正平;李金忠授权不得商用。
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