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本发明涉及一种硅纳米线的制作方法。主要利用氢氟酸或含氢氟酸水溶液对掺杂形成ｐ－ｎ结结构ｎ型硅的选择性腐蚀实现两维尺寸可精确控制的硅纳米线的工艺简单、可靠及批量制作。利用该方法制作硅纳米线，通过改变设计参数及腐蚀时间，可以制作两维尺寸１０纳米...
该专利属于浙江大学所有，仅供学习研究参考，未经过浙江大学授权不得商用。

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