下载气体喷射真空系统的技术资料

文档序号:14042362

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本实用新型公开了一种气体喷射真空系统,解决了但是在大型的反应釜当中,仅仅依靠真空泵的抽取很难保证反应釜内部的0.01kPa的高真空要求。其技术方案要点是至少一个气体反应系统;气体喷射系统,包括依次串联的至少两组气化喷射器;伴随系统,与气体反...
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