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本发明提供一种能够在低温下进行含杂环聚合物前体的环化反应且能够形成分辨性优异的图案的感光性树脂组合物、使用这种感光性树脂组合物的固化膜、固化膜的制造方法及半导体器件。本发明的感光性树脂组合物含有：具有通式(A)所表示的阳离子部及具备自由基引...
该专利属于富士胶片株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过富士胶片株式会社授权不得商用。

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