下载用于长晶的扩宽式加热装置的技术资料

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一种用于长晶的扩宽式加热装置,是连接于一固定在一长晶炉的一上炉壁的一顶壁部的电极组件,上炉壁自该顶壁部的一周缘围绕该长晶炉的一中心轴线朝下延伸有一围壁部。扩宽式加热装置包括一组悬吊板、N个侧加热板及N个连接板。各悬吊板具有一电连接电极组件的...
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