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低温高速生长SiC单晶的助熔剂制造技术
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文档序号:14017713
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本发明涉及几种低温高速生长SiC单晶的助溶剂,属于晶体生长技术领域。本发明涉及的几种助溶剂为稀土金属镨(Pr)、铈(Ce)、镧(La)、镝(Dy)和铽(Tb),SiC单晶的生长方法为顶部籽晶溶液生长法。首先,将上述任意一种助溶剂与高纯硅(≥...
该专利属于昆明理工大学所有,仅供学习研究参考,未经过昆明理工大学授权不得商用。
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