下载高效零排放废酸性铜蚀刻液回收及再生系统的技术资料

文档序号:14016547

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本发明公开了一种高效零排放废酸性铜蚀刻液回收及再生系统,由铜电解回收装置和再生装置两部分组成,利用回收电解铜过程中产生的氯气作为氧化剂,氯气不需要排放,直接作为氧化剂被废蚀刻液吸收,也不需要再另外添加氧化剂,而维持了酸性铜刻蚀液的元素平衡。...
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