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基于石墨烯场效应晶体管的太赫兹探测器及其制备方法技术
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下载基于石墨烯场效应晶体管的太赫兹探测器及其制备方法的技术资料
文档序号:14014520
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本发明提供了一种基于石墨烯场效应晶体管的太赫兹探测器及其制备方法,该探测器由下至上包括栅极、衬底层、绝缘层、金属电极层、石墨烯沟道层,金属电极层包括金属电极阵列以及位于金属图形阵列两侧的源极和漏极,金属电极阵列包括多个周期性间隔排列的金属电...
该专利属于电子科技大学所有,仅供学习研究参考,未经过电子科技大学授权不得商用。
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