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本发明涉及一种平面螺旋电感的新型制作方法，采用玻璃或石英衬底进行平面螺旋电感的制作；采用MEMS技术，包括金属薄膜淀积工艺、介质层薄膜淀积工艺、厚金属层电镀工艺、厚胶光刻工艺、刻蚀工艺等实现平面螺旋电感的制作；平面螺旋电感与衬底之间不需要厚...该专利属于北京时代民芯科技有限公司;北京微电子技术研究所所有，仅供学习研究参考，未经过北京时代民芯科技有限公司;北京微电子技术研究所授权不得商用。