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用于将棒状材料片段化的方法和设备以及设备的应用技术
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文档序号:14009750
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本发明涉及一种用于将棒状半导体材料(1)片段化的方法,该方法包括以下步骤:a)提供棒状材料(1)的被工艺流体(2)包围的区段(3);b)将具有两个电极(5、6)的电极装置(4)这样设置在该区段(3)的区域中,使得所述电极(5、6)浸入工艺流...
该专利属于泽尔弗拉格股份公司所有,仅供学习研究参考,未经过泽尔弗拉格股份公司授权不得商用。
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