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本发明公开了一种具备耐磨耐蚀涂层钼合金板材的制备方法,该方法制备的钼合金板材,采用多层梯度的涂层结构,将涂层成分由Cr经CrN逐渐向CrAlSiN过渡,不仅减小了涂层晶粒尺寸和晶格中的残余应力,提高了薄膜的沉积厚度,从而大幅提高了涂层的承载...该专利属于苏州思创源博电子科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过苏州思创源博电子科技有限公司授权不得商用。
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