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本申请公开了一种光学对准系统,包括载台导轨、主机台导轨、第一连杆和第二连杆;第一连杆设在主机台导轨上,第一连杆的一端固定第一激光发射器,另一端固定第二激光发射器;第二连杆设在载台导轨上,第二连杆的一端固定第一全反射透镜,另一端固定第二全反射...该专利属于南通富士通微电子股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过南通富士通微电子股份有限公司授权不得商用。
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本申请公开了一种光学对准系统,包括载台导轨、主机台导轨、第一连杆和第二连杆;第一连杆设在主机台导轨上,第一连杆的一端固定第一激光发射器,另一端固定第二激光发射器;第二连杆设在载台导轨上,第二连杆的一端固定第一全反射透镜,另一端固定第二全反射...