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压印设备和制造产品的方法技术
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文档序号:13980334
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本发明提供了一种压印设备,其使用模具在基底上模制压印材料,以在所述基底上形成图案,设备包括:喷嘴,包括排放出口,排放出口将压印材料排放到基底上;保持单元,保持单元构造成保持所述模具;供应单元,供应单元构造成将气体供应到保持单元和基底上的压印...
该专利属于佳能株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过佳能株式会社授权不得商用。
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