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一种热驱动MEMS微镜阵列器件，其特征在于包括M×N个热驱动MEMS微镜单元1、衬底2和电引线3，其中M、N为大于等于1的整数，热驱动MEMS微镜单元1包括镜面1‑1、驱动臂1‑2，衬底2包括TSV通孔2‑1、底部PAD2‑2、顶部PAD2...
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