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本发明公开了一种人流量计数传感器及其制作方法，包括硅衬底和设置于硅衬底上的多个热释电单元，所述每个热释电单元包括热绝缘有机凸台，设置于热绝缘有机凸台上表面、侧面和硅衬底上表面的下电极，设置于下电极上的薄膜层，设置于薄膜层上的上电极。本发明提...
该专利属于云南瑞博检测技术股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过云南瑞博检测技术股份有限公司授权不得商用。

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