下载镍基合金固结磨料研磨及化学机械抛光方法的技术资料

文档序号:13968077

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本发明公开了镍基合金固结磨料研磨及化学机械抛光方法,属于合金超精密加工技术领域。碳化硅防水砂纸作为研磨工具,研磨液为去离子水。抛光垫为绒毛阻尼布,抛光压力为40‑60kPa,抛光时间为5‑12min,抛光盘和工件转速分别为61和59rpm。...
该专利属于大连理工常州研究院有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过大连理工常州研究院有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。