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本发明公开一种自组装石墨烯场效应管型生化传感器制造方法，该方法包括如下步骤：制备单晶硅衬底；在所述单晶硅衬底的上制作牺牲层；在所述牺牲层上制作石墨烯层；在所述石墨烯层上制作介电层；在所述介电层和单晶硅衬底上制作栅电极，在所述单晶硅衬底和石墨...
该专利属于北京交通大学所有，仅供学习研究参考，未经过北京交通大学授权不得商用。

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