下载一种多晶硅生产中残液高沸物的处理装置的技术资料

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本实用新型公开了一种多晶硅生产中残液高沸物的处理装置,包括反应精馏塔、釜液泵、再沸器、冷却器、回流罐、回流泵、分离设备、残液存储罐、存储罐、氯化氢存储罐和氯硅烷存储罐。残液存储罐出口和反应精馏塔残液进口管路连接,催化剂存储罐出口和氯化氢存储...
该专利属于内蒙古神舟硅业有限责任公司所有,仅供学习研究参考,未经过内蒙古神舟硅业有限责任公司授权不得商用。

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