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本发明是一种双面抛光机的上盘温度检测结构，包括上抛盘，所述上抛盘的一端面固接一水冷盘，上抛盘的另一端面上设置有上盘架，所述水冷盘与上抛盘上多处共同连接有传感器衬套，所述传感器衬套内设有温度传感器，所述温度传感器的导线与一水银滑环的活动端相连...
该专利属于苏州赫瑞特电子专用设备科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州赫瑞特电子专用设备科技有限公司授权不得商用。

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