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本案涉及一种具有高品质因数的Lamb波传感器，包括：衬底层，其具有薄膜层和腐蚀槽；薄膜层所对应的区域为传感区，薄膜层以外的衬底层上所对应的区域为非传感区；压电层，其设置在衬底层上的远离腐蚀槽的一侧；叉指电极，其设置在压电层表面，包括有输入端...该专利属于中国科学院苏州生物医学工程技术研究所;苏州国科芯感医疗科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院苏州生物医学工程技术研究所;苏州国科芯感医疗科技有限公司授权不得商用。