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一种碳化硅溶液法中实时监测并调整固液界面高度的方法技术
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下载一种碳化硅溶液法中实时监测并调整固液界面高度的方法的技术资料
文档序号:13939807
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本发明涉及碳化硅溶液法领域,尤其涉及一种碳化硅溶液法中实时监测液面接触高度的方法,采用了采用了高精密度电流计,通过指针的偏转来判断SiC籽晶是否与石墨坩埚内的熔融液面接触,根据电流计显示的确切数值推算出SiC籽晶与熔融液接触的具体高度,确保...
该专利属于山东天岳晶体材料有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过山东天岳晶体材料有限公司授权不得商用。
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