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本发明涉及用于移除光刻胶的剥离剂组合物以及使用其剥离光刻胶的方法，剥离剂组合物包含：至少一种胺化合物；酰胺类化合物，其中具有1到5个碳原子的直链或支链烷基对氮单取代或二取代；极性有机溶剂；三唑类化合物；以及苯并咪唑类化合物。...
该专利属于株式会社LG化学所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社LG化学授权不得商用。

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