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用于制造固体层的方法和设备以及根据该方法制造的晶片技术
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下载用于制造固体层的方法和设备以及根据该方法制造的晶片的技术资料
文档序号:13923999
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本发明涉及一种用于制造固体层的方法。根据本发明的方法优选至少包括下述步骤:提供固体(2)用于分开至少一个固体层(4);借助于至少一个辐射源(18)的辐射、尤其激光器的辐射在所述固体的内部结构中产生缺陷以预设剥离平面(8),所述固体层(4)沿...
该专利属于西尔特克特拉有限责任公司所有,仅供学习研究参考,未经过西尔特克特拉有限责任公司授权不得商用。
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