下载一种刻蚀石墨烯纳米孔减小二次电子发射系数的方法的技术资料

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一种刻蚀石墨烯纳米孔减小二次电子发射系数的方法,本发明采用结合两种不同方法,涂覆低二次电子发射系数的材料和表面制备陷阱结构:在表面涂覆低二次电子发射系数的石墨烯,然后通过氩离子刻蚀的技术制备纳米孔。技术上通过控制表面涂覆石墨烯的厚度和纳米孔...
该专利属于西安空间无线电技术研究所所有,仅供学习研究参考,未经过西安空间无线电技术研究所授权不得商用。

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