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一种刻蚀石墨烯纳米孔减小二次电子发射系数的方法技术
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文档序号:13909558
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一种刻蚀石墨烯纳米孔减小二次电子发射系数的方法,本发明采用结合两种不同方法,涂覆低二次电子发射系数的材料和表面制备陷阱结构:在表面涂覆低二次电子发射系数的石墨烯,然后通过氩离子刻蚀的技术制备纳米孔。技术上通过控制表面涂覆石墨烯的厚度和纳米孔...
该专利属于西安空间无线电技术研究所所有,仅供学习研究参考,未经过西安空间无线电技术研究所授权不得商用。
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