下载一种CO2气体检测用双通道红外滤光片及其制备方法的技术资料

文档序号:13908771

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本发明涉及红外滤光片,具体涉及一种CO2气体检测用双通道红外滤光片及其制备方法。基底材料选用单晶Si,折射率n=3.42881;高折射率材料选用Ge,折射率n=4.16422;低折射率材料选用SiO,折射率n=1.81312;在基板两个表面...
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