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一种氮化铁薄膜的制备方法技术
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下载一种氮化铁薄膜的制备方法的技术资料
文档序号:13903825
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本发明涉及一种氮化铁薄膜的制备方法。该方法是采用激光脉冲沉积的方法,通过控制沉积温度、时间和氧气流量,来制备氧化铁薄膜;通入氢气,在300~400℃还原4‑20h,以获得铁薄膜;通入氨气,在120~200℃氮化1~30h;氮化过程中施加磁场...
该专利属于彭晓领所有,仅供学习研究参考,未经过彭晓领授权不得商用。
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