下载一种分立器件芯片正面及侧壁钝化方法的技术资料

文档序号:13902968

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本发明提供一种分立器件芯片正面及侧壁钝化方法,包括:步骤1),提供芯片晶圆,对芯片晶圆进行切割形成多个切割道;步骤2),提供一网版,所述网版具有与芯片晶圆切割道图形相匹配的开孔,将所述网版与芯片晶圆进行对准固定;步骤3),基于所述网版将钝化...
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