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本发明公开了一种半导体泵浦激光清洗机的激光光路系统，涉及激光清洗技术领域，采用双泵浦光源对激光晶体进行泵浦激励，形成一次谐波后，通过腔内二倍频变换和三倍频变换产生紫外激光束输出，该紫外激光束有电光转换效率高、高重频、窄脉宽、低损伤阈值等特点...
该专利属于苏州艾思兰光电有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州艾思兰光电有限公司授权不得商用。

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