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一种基于阵列波导光栅的混合光合束-波分解复用器制造技术
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下载一种基于阵列波导光栅的混合光合束-波分解复用器的技术资料
文档序号:13900111
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本发明公开了一种基于阵列波导光栅的混合光合束‑波分解复用器,包括衬底以及在衬底上自下而上依次排列的包层、导波层;导波层为图形层,沿水平面上向右方向依次刻蚀有输入波导、输入自由传输区、阵列波导、输出自由传输区和输出波导阵列,厚度均相同;本发明...
该专利属于华中科技大学所有,仅供学习研究参考,未经过华中科技大学授权不得商用。
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