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本发明提供一种TFT基板的制作方法，通过在扫描线上方设置一尺寸大于沟道区域的监测区域，并在半色调掩膜板上增设对应监测区域的半透光区域，该半透光区域与对应沟道区域的半透光区域的透光率均相同，进而可以通过监测显影后监测区域内的剩余的光阻层厚度来...
该专利属于深圳市华星光电技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳市华星光电技术有限公司授权不得商用。

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