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本发明提供一种以低成本且高效地在基板的表面上形成凝固体的基板处理方法以及基板处理装置。使用冷却构件使在水平姿势的基板的上表面形成的凝固对象液的液膜凝固来形成凝固体的凝固体形成工序包括第一工序和第二工序，在第一工序中，使冷却构件中的温度比凝固...
该专利属于株式会社思可林集团所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社思可林集团授权不得商用。

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