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脆性材料基板的切断方法及脆性材料基板的切断装置制造方法及图纸
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文档序号:13883486
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本发明提供一种沿着切断既定线(L)切断脆性材料基板(W)的脆性材料基板(W)的切断装置(20),其具备:加工台(3),配置脆性材料基板(W);始端龟裂形成部(21),其在脆性材料基板(W)的切断既定线(L)上的使脆性材料基板(W)移动时的移...
该专利属于株式会社IHI所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社IHI授权不得商用。
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