下载一种高亮倒装LED芯片制备方法的技术资料

文档序号:13880265

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本发明提供一种高亮倒装LED芯片制备方法,包括以下步骤:步骤一、首先在清洗干净的LED外延片沉积一定厚度的SiO2或SiN薄膜;依据需要进行黄光图形制程,将SiO2或SiN薄膜采用腐蚀方式,制备CB结构;步骤二、进行ITO薄膜沉积;步骤三、...
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