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本发明提供了一种金属氧化物气敏传感基体材料及其制备方法。由以下步骤制备而成：先将硫酸和过氧化氢混合均匀，超声清洗硅片；将氢氧化钠与去离子水混合溶解，超声清洗硅片；将氢氟酸和去离子水混合，超声清洗硅片，将硅片放入丙酮中超声清洗，再放入无水乙醇...
该专利属于苏州捷德瑞精密机械有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州捷德瑞精密机械有限公司授权不得商用。

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