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本实用新型公开了一种氢气传感器芯体，氢气传感器芯体依次包括基片、由非晶碳构成的介质层和氢气敏感层；非晶碳成分简单，化学性质稳定，特别适合制备高稳定性、长寿命的电子器件。本实用新型的氢气传感器芯体所制备的MOS电容薄膜氢气传感器能够检测到的氢...
该专利属于中国电子科技集团公司第四十八研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国电子科技集团公司第四十八研究所授权不得商用。

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