下载一种具有改善安全工作区的IGBT器件及其制造方法的技术资料

文档序号:13873293

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本发明涉及一种具有改善安全工作区的IGBT器件及其制造方法,在所述IGBT器件有源区设有多晶侧壁保护结构和浅P+结构;所述多晶侧壁保护结构位于多晶硅栅极两侧;所述浅P+结构位于N+区和P-基区之间;在N+区预留空穴通路,形成空穴旁路结构。本...
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