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本实用新型涉及一种声谐振器设备。本实用新型公开了一种声谐振器设备，所述声谐振器设备设有衬底，该衬底包括：衬底部件，包括被配置成形成阵列结构的多个支撑部件，所述衬底部件具有上部区域；被形成为覆盖所述上部区域的一厚度的单晶压电材料，所述厚度的单...
该专利属于阿库斯蒂斯有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过阿库斯蒂斯有限公司授权不得商用。

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