下载一种真空管排气工艺方法的技术资料

文档序号:13862526

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本发明公开了一种真空管排气工艺方法,该方法包括如下步骤:首先开启机械泵预抽真空至10 Pa以下,开启加热器,并保温,温度设定在200℃,不停泵,继续抽真空至10E-1~1 Pa;然后关闭机械泵,同时开扩散泵,加热温度设定调高至400℃;保温...
该专利属于陈跃跃所有,仅供学习研究参考,未经过陈跃跃授权不得商用。

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