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本发明为一种LTCC光纤法珀高温压力传感器，主要由基座、压力敏感膜片、光纤、插芯及尾柄组成。本发明采用LTCC技术一体化制造直接接触高温的压力敏感膜片和基座，用高温胶水将光纤固定在尾柄及插芯内，采用陶瓷烧结技术或高温胶水将插芯与基座连接，使...
该专利属于中北大学所有，仅供学习研究参考，未经过中北大学授权不得商用。

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