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一种含有自检测功能的面内电容式加速度传感器及其制造方法技术
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下载一种含有自检测功能的面内电容式加速度传感器及其制造方法的技术资料
文档序号:13832282
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本发明提供了一种含有自检测功能的面内电容式加速度传感器,至少具有一个面内加速度敏感方向,基于预制空腔SOI晶圆,预制空腔SOI晶圆依次设置有衬底、绝缘层、器件层,以及位于衬底的空腔,器件层、绝缘层设置有释放槽,通过释放槽释放加速度传感器的可...
该专利属于上海芯赫科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过上海芯赫科技有限公司授权不得商用。
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