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本发明公开了一种氧化铝抛光液的制备方法，包括如下步骤：1）将硅烷偶联剂、乙醇和水混合形成水解液；2）在95~110℃加热和搅拌条件下，将水解液加入到氧化铝粉末中，保持边搅拌边加热，直至液体挥发完全获得改性氧化铝；3）将改性氧化铝研磨成粉末分...该专利属于上海新安纳电子科技有限公司;中国科学院上海微系统与信息技术研究所所有，仅供学习研究参考，未经过上海新安纳电子科技有限公司;中国科学院上海微系统与信息技术研究所授权不得商用。