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基于空间光调制器的薄壁件加工误差测量装置的测量方法制造方法及图纸
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下载基于空间光调制器的薄壁件加工误差测量装置的测量方法的技术资料
文档序号:13827696
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本发明涉及一种基于空间光调制器的薄壁件加工误差测量装置及测量方法。机械加工的薄壁件表面误差测量通常接触式测量,接触零部件表面,其测量移动速度较慢,无法测量小于侧头曲率半径的微观凹坑。本发明组成包括:一组测量装置(14),测量装置包括套筒(1...
该专利属于哈尔滨理工大学所有,仅供学习研究参考,未经过哈尔滨理工大学授权不得商用。
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