下载一种激光波长修正式角反射镜激光干涉仪的技术资料

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本实用新型涉及一种精密测试技术及仪器领域,特别涉及一种激光波长修正式角反射镜激光干涉仪,所述激光波长修正式角反射镜激光干涉仪,包括激光源、固定角反射镜、光电探测器、测量角反射镜装置和分光镜,所述测量角反射镜装置包括测量角反射镜和精密位移装置...
该专利属于成都信息工程大学所有,仅供学习研究参考,未经过成都信息工程大学授权不得商用。

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