下载一种高精度活塞式气体流量标准装置的技术资料

文档序号:13803651

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本实用新型公开了一种高精度活塞式气体流量标准装置。本实用新型中以活塞缸内径为计量标准,利用光栅尺将活塞位移反馈给控制系统,实现一个闭环测量系统,同时安装了压力传感器和温度传感器可对系统进行温度压力补偿,有利于提高装置的检定精度;且本实用新型...
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