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一种新的氮化硅阻隔三轴陀螺仪工艺，该陀螺仪包括下基板，硅外延可动结构层和上基板，其制造方法提供两片硅衬底及外延层作为电极板和通道的技术，可实现金属基板作为检测电极的电信号检测，并且在两片硅衬底上实现对外延片的键和，实现密封腔体内部电性结构和...
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